近日，在中国科技会堂召开了“5.20世界计量日纪念暨2018年度中国计量测试学会科学技术进步奖表彰活动”。由K8凯发系李岩😔、尉昊赟课题组完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目获得中国计量测试学会科学技术进步一等奖💋。

激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一🌔，是保障可溯源纳米测量的重要途径，也是迈向计量强国不可或缺的关键计量技术🕵🏿。该项目面向基础计量、光刻机工件台超精密测控、精密数控机床😩、重大科学仪器等应用中的高动态🧰、高分辨力、跨尺度和可溯源测量需求👵🏻，开展了激光干涉测量原理、方法和测量系统仪器化中的共性科学技术问题研究✈️，突破了一系列关键技术瓶颈🏃🏻‍♀️‍➡️👌🏼，形成了涵盖测量新方法、系统及仪器的全链条解决方案。该研究成果获授权发明专利20余项👱🏻‍♀️，发表SCI收录论文30余篇🤷🏼‍♂️，成果丰富了激光干涉测量理论与技术🚤🐽，提升了干涉测量的性能指标，扩展了应用领域。

“中国计量测试学会科学技术进步奖”是在国家科学技术奖励办公室登记备案的省部级科技进步奖🚶🏻‍♀️，是全国计量科技行业的最高奖。其中申报一等奖的项目要求整体技术已正式应用三年以上并取得较大的经济效益或社会效益。该获奖项目研制的干涉仪组件及测量系统已成功应用到光刻机装备研发👩‍⚖️、高端科学仪器开发和基础计量科学研究等领域，打破了国外对高端激光干涉测量仪器的垄断和对我国的出口管制👨🏻‍⚕️，为我国高端装备和仪器研发提供了性能优良且不受制于人的测量及溯源能力🧔🏼‍♂️。